光刻与薄膜覆盖
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薄膜覆盖
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FSM提供多种类的薄膜覆层服务。 从单层膜到复杂的多层膜, 我们有丰富的经验。 我们的覆层服务包括热氧化, LPCVD, PECVD, PVD, 电镀, 蒸镀, 以及符合您需要的特殊薄膜处理。
下列为FSM最常见的镀膜:
热氧化
CVD氧化
低温氧化
厚氧化膜
颗粒净化氧化膜
PETEOS氧化膜
低颗粒Teos
碳化硅膜
BPSG, PSG, USG
多晶硅 (含杂质与不含杂质)
非晶硅
光阻: I-line, 248奈米 DUV, 193奈米厚光阻
氮氧化膜
LPCVD 氮化膜
PECVD 氮化膜
低压氮化膜
钻石
类钻石碳
Metals: PVD, CVD, Electroplated, Evaporated, Al, Ta, Ti, TiN, TiW, TaN, WN, Cr, Cu, Al-Cu, Ni, Ru, SiC, SiCN, A-Si, Pd, Co, NiSi, TiO2, Pt, Ag, Au, etc. 金属: PVD, CVD, 电镀, 蒸镀, Al, Ta, Tim TiN, TiW, TaN, WN, Cr, Cu, Al-Cu, Ni, Ru, SiC, SiCN, A-Si, Pd, Co, NiSi, TiO2, Pt, Ag, Au 等.
欲知更多薄膜覆层细节, 或您有特殊需求, 请联系FSM