FSM提供各种规格的高质量光刻级硅晶圆片, 以满足您精准的平整度需求。
硅晶圆片.可供选择的直径: 50毫米至300毫米。
有效平整度量测: SFPD局部焦平面变化, SFQR局部平整需求, STIR局部平整度, TTV厚度变化, TIR平整度, GTIR整体平整度等。
FSM超平硅晶圆片规格范例
直径: 300毫米
局部平整度:
局部平整规格: <=0,05微米, <=0,11微米, <=0,13微米, 或<=0.25微米
可用区域百分比(PUA): 100%
局部尺寸: 26×8 毫米
FSM有超平硅晶圆片的现货。
欲知更多讯息或报价, 请联系FSM。
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