添加时间：2017-11-17 09:02:07 浏览769 来源：本站
| 直径 | 300 +/- 0.5 mm |
| 种类 / 掺杂物 | P/Boron |
| 晶向 | +/- 1º |
| 等级 | 测试级 |
| 电阻值 | 1 – 50 Ω-cm |
| 镜像电阻梯度 | — |
| 氧 | — |
| 碳 | — |
| 金属 | < 5 x E10 原子/ 平方厘米 |
| 厚度 | 775 +/- 25微米 |
| 厚度变化 | <= 5微米 |
| 弯曲度 | <= 50微米 |
| 局部平整度(STIR) | |
| 凹口 | 标准值 |
| 颗粒数 | <= 50 @ >= 0.16微米 |
| 正面 | 抛光 |
| 背面 | 抛光 |
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