添加时间:2017-11-17 09:02:28 浏览1124 来源:本站
直径 | 76.2 +/- 0.63 毫米 |
种类 / 掺杂物 | P/Boron |
晶向 | <100>+/- 1º |
等级 | 测试级 |
电阻值 | 1 – 100 Ω-cm |
镜像电阻梯度 | — |
氧 | — |
碳 | — |
金属 |
< 5 x E10 原子/ 平方厘米 |
厚度 | 381 +/- 50 μ微米 |
厚度变化 | <= 10微米 |
整体平整度 | |
弯曲度 | <= 50 微米 |
平整度 | 1或2 SEMI标准值 |
颗粒数 | <= 50 @ >= 0.3微米 |
抛光 | 单面抛光或双面抛光 |
蚀刻 | 单面抛光或双面抛光 |