添加时间：2017-11-17 09:02:13 浏览678 来源：本站
| 直径 | 200 +/- 0.5 mm |
| 种类 / 掺杂物 | P/Boron |
| 晶向 | <100>+/- 1º |
| 等级 | 测试级 |
| 电阻值 | 1 – 100 Ω-cm |
| 镜像电阻梯度 | — |
| 氧 | — |
| 碳 | — |
| 金属 | < 5 x E10原子/ 平方厘米 |
| 厚度 | 725 +/- 25微米 |
| 厚度变化 | <= 10微米 |
| 整体平整度 | |
| 弯曲度 | <= 50微米 |
| 局部平整度(STIR) | — |
| 凹口 | SEMI标准值 |
| 颗粒数 | <= 30 @ >= 0.2微米 |
| 抛光 | 单面抛光或双面抛光 |
| 蚀刻 | 单面抛光或双面抛光 |
| *N type wafers available | |
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