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200毫米

添加时间:2017-11-17 09:02:13 浏览417 来源:本站

FSM有完整的200毫米晶圆产品。 请见下表之生产级与测试级晶圆之SEMI标准规格。我们将竭诚提供符合您所有需要的晶圆片。
如果您没有找到您要的规格, 请与我们联系, 并与专员讨论相关细节。

直径 200 +/- 0.5 mm
种类 / 掺杂物 P/Boron
晶向 <100>+/- 1º
等级 测试级
电阻值 1 – 100 Ω-cm
镜像电阻梯度
金属 < 5 x E10原子/ 平方厘米
厚度 725 +/- 25微米
厚度变化 <= 10微米
整体平整度  
弯曲度 <= 50微米
局部平整度(STIR)
凹口 SEMI标准值
颗粒数 <= 30 @ >= 0.2微米
抛光 单面抛光或双面抛光
蚀刻 单面抛光或双面抛光
*N type wafers available

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