上海晶仕光半导体加工有限公司提供和定制各种尺寸的镀膜片，如Thermal Oxide wafer, PETEOS wafer, Nitride wafer, POLY, Cu, W, TiN, TaN, PR wafer 等；同时接受接受客户定制Pattern wafer服务。另外还提供各种尺寸和规格的玻璃片Glass wafer，SiC wafer 等三代半半导体产品。
上海晶仕光半导体加工有限公司提供和定制各种尺寸的镀膜片，如Thermal Oxide wafer, PETEOS wafer, Nitride wafer, POLY, Cu, W, TiN, TaN, PR wafer 等；同时接受接受客户定制Pattern wafer服务。另外还提供各种尺寸和规格的玻璃片Glass wafer，SiC wafer 等三代半半导体产品。
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200MM | 300MM |
|---|---|---|
| 厚度 | 50-50000nm | 50-40000nm |
| 厚度偏差（1片） | < 3％ | < 3％ |
| 厚度偏差（多片） | < 3％ | < 3％ |
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Grow Method |
CZ | CZ |
| 直径(mm) | 200±0.2mm | 300±0.2mm |
| Type | P | P |
| 晶向Orientation | （100） | （100） |
| 电阻（Ω・cｍ） | 1-100 | 1-100 |
| 厚度（μｍ） | 725±25 | 775±25 |
| TTV（μｍ） | ≦25 | ≦25 |
| BOW（μｍ） | ≦40 | ≦40 |
| WARP（μｍ） | ≦40 | ≦40 |
| 表面不纯物 | ≦5.0E 10 atom/cm2 | <1 E10 Atoms/cm2 |
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100MM | 150MM |
|---|---|---|
| 厚度 | 50-30000nm | 50-30000nm |
| 厚度偏差（1片） | < 5％ | < 5％ |
| 厚度偏差（多片） | < 5％ | < 5％ |
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Grow Method |
CZ | CZ |
| 直径(mm) | 100±0.3mm | 150±0.3mm |
| Type | P | P |
| 晶向Orientation | （100） | （100） |
| 电阻（Ω・cｍ） | 1-100 | 1-100 |
| 厚度（μｍ） | 525±25 | 675±25 |
| TTV（μｍ） | ≦25 | ≦25 |
| BOW（μｍ） | ≦40 | ≦40 |
| WARP（μｍ） | ≦40 | ≦40 |
| 表面不纯物 | ≦5.0E 10 atom/cm2 | ≦5.0E 10 atom/cm2 |
如有其他方面需求，请咨询联系。
