150MM/200MM
| 150MM | ||
|---|---|---|
| SPEC | 0.2um≤30ea | 0.2um≤30ea |
| 直径(mm) | 150±0.2mm | 150±0.2mm |
| Type | P | P |
| 椭圆形长度 | 57.5mm±2.5mm | 47.5mm±2.5mm |
| 电阻(Ω・cm) | 1-100 | 1-100 |
| 厚度(μm) | SEMI | JEIDA |
| 675um±25um | 675um±25um | |
| TTV(μm) | ≤ 30um | ≤ 30um |
| BOW(μm) | ≤ 40um | ≤ 40um |
| WARP(μm) | ≤ 40um | ≤ 40um |
| 表面 | ≤5.0E 10 atom/cm2 | ≤5.0E 10 atom/cm2 |
| 200MM | ||
|---|---|---|
| SPEC | 0.2um≤30ea | – |
| 直径(mm) | 200±0.2mm | 200±0.2mm |
| Type | P | P |
| 結晶方位 | <110>±1 | <110>±1 |
| 电阻(Ω・cm) | 1-100 | 1-100 |
| 厚度(μm) | 725±25 | 725±25 |
| TTV(μm) | ≦25 | ≦2 |
| BOW(μm) | ≤ 40um | ≤ 40um |
| WARP(μm) | ≤ 40um | ≤ 40um |
| 表面不纯物 | ≤5.0E 10 atom/cm2 | ≤5.0E 10 atom/cm2 |
测试级晶圆片是高质量的晶圆片，相较于生产级晶圆片，较少规格要求。
这些晶圆片是用来监控某一半导体制程步骤的效能与状态。 测试级晶圆片可为隔离测试提供一个较经济实惠的方案。
欲知更多讯息或报价, 请联系FSM。
