Dummy Wafer，中文称为填充片或者假片，是在晶圆制造过程中专门用于填充机台设备的晶圆，通常不会用于实际生产，也不会直接作为成品出售。其主要作用是为满足设备运行的特定要求或约束，确保设备的工艺性能稳定，同时优化资源利用率并减少生产风险。Dummy Wafer的设计和使用是晶圆厂生产管理的重要组成部分。在晶圆制造的不同工艺阶段，由于设备的特性及工艺要求，Dummy Wafer在保证设备正常运行、优化资源分配、降低良品晶圆损耗方面起到了不可替代的作用。

FSM上海晶仕光可以提供从2寸到12寸各种规格的Dummy wafer，自有工厂，品质稳定，交货期可控。并有各种检测设备，可提供需要的参数检测服务。